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青岛电子制造洁净室空调系统的设计安装

更新时间:2021-04-08

简要描述:

青岛电子制造洁净室空调系统的设计安装净化空调系统设计,根据工艺布局设置相应的净化空调系统,基于净化区技术夹层空间的及其有限,系统采用净化空气机组+风机过滤送风单元+干盘管表冷其的组合方式。

青岛电子制造洁净室空调系统的设计安装

          净化空调系统设计,根据工艺布局设置相应的净化空调系统,基于净化区技术夹层空间的及其有限,系统采用净化空气机组+风机过滤送风单元+干盘管表冷其的组合方式。为节能降耗,机组设置了变频器,并可通过末端FFU的档位调节实现经济运行风量,以有效节能。洁净室气流组织为顶送侧下回的形式。送风采用G效过滤器顶送风方式,回风通过设在洁净室回风夹道下侧的回风格栅,经夹道的干盘管冷器处理后回至吊顶上方的送风静压箱,并再次送人洁净室,送风动力由FFU风机提供。洁净系统采用三级过滤措施,即在MAU内设置初效板式过滤器一道,末端FFU配置了G效过滤器,洁净室送风湿度由MAU保证,洁净度和温度有FFU和DCC保证。

          青岛电子制造洁净室空调系统的设计安装,空调水系统的控制,采用百分比特性电动压差旁通阀门控制,就是对冷冻水的旁通流量进行浮点式控制,以实现高精度可靠控制,排除了线性调节方式存在的缺陷,即通过PID控制器检测冷冻水供回水的压差,来实时调节旁通阀门的开度,从而使管网压力达到平衡。

          由于洁净室温度要求为23±2℃,相对湿度60±5%,即在生产条件下要求全年恒温恒湿,且由于洁净生产车间设备热湿负荷较D,故该空调系统大多处于过渡季工况下运行,并么有明显的冬季、夏季工况表征;为了实现节能,在保证温湿度满足工艺要求的前提下,尝试了人为干预自动控制,如夏季时手动切断了电加热段的电源,避免了系统自动控制而普遍存在的冷热抵消现象。

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