一些洁净厂房的主要技术指标

工厂类别：集成电路芯片甲厂，集成电路芯片乙厂，集成电路芯片丙厂，TFT-LCD甲厂，TFT-LCD乙厂，TFT-LCD丙厂

洁净室建筑（核心生产区）面积（m²）：8700， 1400,  15800,  28000,  22000+14000, 33000

洁净室建筑高度（m） ：20.0,   26.8,   22.0,   23.0,   20.3,   26.5

主要消费技术措施：设有回风高灵敏度早期火灾报警系统，易燃易爆气体报警系统，机械排烟设施，CO₂  灭火装置等；设有机械排烟系统，回风高灵敏度早期火灾报警系统，易燃、易爆气体、化学品泄漏报警与连锁等；设有自动喷淋系统，CO₂装置，回风高灵敏度早期火灾报警系统，易燃、易爆气体报警系统等；设有自动喷淋系统，疏散走廊机械排烟，回风高灵敏度早期火灾报警系统，特气、危险化学品报警系统等；设有早期火灾博阿基系统，机械排烟系统，易燃、易爆气体博阿基系统、自动喷淋系统等；设有早期火灾报警系统，机械排烟系统，易燃、易爆气体报警系统，自动喷淋系统等。